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| 一种基于石墨烯的光滤波器件 | | 发布时间：2020-12-17 15:12:38 | | | | | 一种基于石墨烯的光滤波器件，包括光耦合结构，光耦合结构包括电解质层、金属电极、石墨烯条带阵列、介质层、金属光栅和衬底，在电解质层和金属电极上设置有顶栅电压的调节装置；由石墨烯条带阵列、介质层与金属光栅构成的Fabry‑Perot微腔阵列位于衬底上，电解质层和金属电极分别位于Fabry‑Perot微腔上方的同一平面上。本发明基于目前极为成熟的微纳刻蚀加工技术以及多层膜技术，工艺流程不繁杂，操作简单。与传统的同频段滤波器件相比，石墨烯的引入大大缩小了耦合器件的尺寸。通过栅极电压调节石墨烯的费米能级来调控光过滤频率，实现了对光的主动控制，而且所需的功耗较小，品质因数大，响应速度快，具有很宽的工作频。 | | | 【刷新页面】【加入收藏】【打印此文】 【关闭窗口】 | |
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